Halbleiter

Halbleiter

Toyo Tanso entwickelt und produziert beschichtete Graphit-, und CFC-Komponenten für die Polysiliziumherstellung, Kristallzucht und unterschiedliche Verfahren der Waferbearbeitung, wie MOCVD, EPI und CVD/PVD.

Unser Produktportfolio beinhaltet nicht nur Heizer, Stütztiegel, Hitzeschilde und Isolationsbauteile für viele Verfahren zur Züchtung von Einkristallen, sondern auch Suszeptoren für die Silizium-Epitaxie, wie auch für MOCVD-Reaktoren (Metal Organic Chemical Vapor Deposition).

Durch eine eigene Reinigungsanlage bei GTD und die vorhandenen modernen Produktionsmöglichkeiten bei Toyo Tanso realisieren wir, entsprechend Ihrer Anforderungen, Komponenten in unterschiedlichen Ausführungen und Reinheitsgraden.